物料管理第一組

晶背研磨(back grinding, BG)廢水主要是由超純水與細顆粒所組成，因此若將其處理並回收再利用，應具有相當程度的經濟效益。本研究採物化處理之方式，進行適合BG廢水回收再利用之前處理技術探討，評估廢水再利用之可行性。在化學處理部分，選定以混凝之瓶杯試驗針對固體物之去除，藉由批次試驗得知，以多元氯化鋁(poly aluminum chloride, PAC)及氯化鐵(FeCl3)為混凝劑，或PAC配合助凝劑之添加，皆能有效降低濁度及懸浮固體物。由研究結果可知，在考量成本效益，本研究採低加藥量及不調整廢液之酸鹼值，使水樣為中性(pH 7)之下，以PAC 2.2 mg/L及陽性助凝劑(polymer) 0.5 mg/L為加藥量，BG廢液之濁度去除率達98%。另砂濾之測試，藉此比較BG廢水採直接砂濾，或混凝砂濾後之實驗結果可知，直接利用砂濾過濾無法有效去除濁度與SS，而經過混凝後再以砂濾系統進行過濾，濁度去除率可提升至99%，由此可知BG廢液具「高濁度細粒徑」之特性。關於正壓式螺旋膜與負壓式中空纖維膜組之超過濾(ultrafiltration-UF)薄膜系統之結果顯示，使用二種UF膜後，濁度去除率皆可達99.9%以上。在UF膜的通量比較上，實驗組優於對照組，正壓膜於40分鐘內實驗組及對照組通量分別為87.7 L/m2-min及81.5 L/m2-min，負壓膜則為16.0 L/m2-min及15.0 L/m2-min，故有效的前處理方式可有效減緩薄膜處理之負荷。BG廢水水質再利用評估結果可知，經由UF膜處理後已能符合於冷卻水使用，倘若需符合製程純水之標準，則需再以逆滲透程序進行處理。

 陳雅欣, 半導體晶背(BG)廢水回收再利用之技術可行性評估,國立中山大學環境工程研究所,2010