晶背研磨(back grinding, BG)廢水主要是由超純水與細顆粒所組成,因此若將其處理並回收再利用,應具有相當程度的經濟效益。本研究採物化處理之方式,進行適合BG廢水回收再利用之前處理技術探討,評估廢水再利用之可行性。在化學處理部分,選定以混凝之瓶杯試驗針對固體物之去除,藉由批次試驗得知,以多元氯化鋁(poly aluminum chloride, PAC)及氯化鐵(FeCl3)為混凝劑,或PAC配合助凝劑之添加,皆能有效降低濁度及懸浮固體物。由研究結果可知,在考量成本效益,本研究採低加藥量及不調整廢液之酸鹼值,使水樣為中性(pH 7)之下,以PAC 2.2 mg/L及陽性助凝劑(polymer) 0.5 mg/L為加藥量,BG廢液之濁度去除率達98%。另砂濾之測試,藉此比較BG廢水採直接砂濾,或混凝砂濾後之實驗結果可知,直接利用砂濾過濾無法有效去除濁度與SS,而經過混凝後再以砂濾系統進行過濾,濁度去除率可提升至99%,由此可知BG廢液具「高濁度細粒徑」之特性。關於正壓式螺旋膜與負壓式中空纖維膜組之超過濾(ultrafiltration-UF)薄膜系統之結果顯示,使用二種UF膜後,濁度去除率皆可達99.9%以上。在UF膜的通量比較上,實驗組優於對照組,正壓膜於40分鐘內實驗組及對照組通量分別為87.7 L/m2-min及81.5 L/m2-min,負壓膜則為16.0 L/m2-min及15.0 L/m2-min,故有效的前處理方式可有效減緩薄膜處理之負荷。BG廢水水質再利用評估結果可知,經由UF膜處理後已能符合於冷卻水使用,倘若需符合製程純水之標準,則需再以逆滲透程序進行處理。

 陳雅欣, 半導體晶背(BG)廢水回收再利用之技術可行性評估,國立中山大學環境工程研究所,2010

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